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■ar |
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1 |
■a微电子机械系统力学性能及尺寸效应■f刘凯, 韩光平著■9Wei Dian Zi Ji Xie Xi Tong Li +...... |
| 210 |
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■a北京■c机械工业出版社■d2009.2 |
| 215 |
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■axi, 209页■c图■d21cm |
| 320 |
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■a有书目 (第192-209页) |
| 330 |
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■a本书是关于介绍“微电子机械系统动力学性能及尺寸效应”的教学用书，全书共分9章，分析了MEMS的特征及其近期发展；详细+...... |
| 606 |
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■a微电子技术 |
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■aTN405■v4 |
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■a刘凯■4著■9Liu Kai |
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■a 韩光平■4著■9 Han Guang Ping |
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■aCN■b江西大宇职业技术学院图书馆■c20101029 |
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■a江西大宇职业技术学院图书馆■dTN405■e1 |
| -98 |
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■zhao |
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■zhan |
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