文献类型:专著 浏览次数:2
  • 题名:微机电系统(MEMS)设计和原型设计指南
  • 责任者:(美)库比(Kubby,J.A.)著
  • 出版社国防工业出版社
  • 出版年:2014.9
  • ISBN:978-7-118-09690-3
  • 定价:69.00
  • 载体形态项:134页 24cm
  • 个人责任者:库比(Kubby)著、J.A.)著
  • 学科主题:微电机
  • 中图法分类号:TM380.2
  • 提要文摘附注:在本书中描述和分析了大量的设计案例,涉及领域包括微观力学、电磁学、光学MEM、热学MEMS和流体MEMS等。其中有一章专门介绍MEMS器件的封装和测试;此外,在本书每章的最后,都描述了MEMS设计的实践和挑战,并提供了相关的解决方案。
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