文献类型:专著 浏览次数:2
  • 题名:金属有机物气相外延.理论与实践.2版
  • 责任者:(美)杰拉尔德.B.斯特林费洛(Gerald B. Stringfellow)著
  • 出版社北京大学出版社
  • 出版年:2016
  • ISBN:978-7-301-27517-7
  • 定价:91.00
  • 载体形态项:512页 23cm
  • 个人责任者:斯特林费洛著、张国义译、陈志忠译
  • 学科主题:有机金属化合物
  • 中图法分类号:O627
  • 提要文摘附注:本书是金属有机物气象外延基础理论和应用实践方面的专著,该书第一章首先总揽了OMVPE的生长过程,并和其他的外延工艺做细致的比较,第二到第六章则分别论述了OMVPE生长的各个方面;热力学;表面物理过程;反应源;动力学以及流体力学和质量输运,第七章讨论了OMVPE生长过程的设计,包括动力学限制及高温区的生长,同时也对整体的OMVPE过程进行设计,第八章则介绍了如GaAs,Inp,GaN等特定的材料,第九章介绍了超晶格结构,第十章对OMVPE生长的器件进行了论述。
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