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■a基于MEMS技术的硅脉象传感与检测系统的研究■f王璐著■9ji yu MEMS ji shu de gui mai +...... |
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■a哈尔滨■c黑龙江大学出版社■d2013.05 |
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■a273页■c图■d21cm |
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■a本书介绍了采用MEMS技术、CMOS工艺和激光加工技术，设计并制作硅杯和悬臂梁两种结构的以纳米硅/单晶硅异质结为源极+...... |
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■a脉象仪研究人员 |
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评价
