文献类型:专著 浏览次数:3
  • 题名:微纳系统技术与应用
  • 责任者:姚军, 汪为民编著
  • 出版社科学出版社
  • 出版年:2011.08
  • ISBN:978-7-03-032103-9
  • 定价:50.00
  • 载体形态项:216页 24cm
  • 个人责任者:姚军编著、汪为民编著
  • 学科主题:微电子技术
  • 中图法分类号:TN4
  • 提要文摘附注:本书阐述了微纳结构与系统的知识,包括微纳系统的基本概念、所用材料、加工方法、在多学科交叉领域的具体应用等;探讨了微纳系统领域内一些热点研究方向的最新成果,包括MEMS空间光调制器、MEMS开关、光纤传感器、气体传感器等;并按照设计、加工、测试、封装这一完整流程阐述了研发的方法和技巧,通过实例对各个研发环节的实践经验进行了简明介绍。
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