文献类型:专著 浏览次数:127
  • 题名:低温等离子体诊断原理与技术
  • 责任者:叶超编著
  • 出版社科学出版社
  • 出版年:2021.06
  • ISBN:978-7-03-055475-8
  • 定价:169.00
  • 载体形态项:340页 24cm
  • 个人责任者:叶超编著
  • 学科主题:低温
  • 中图法分类号:O536
  • 提要文摘附注:本书阐述了低温等离子体诊断的基本原理与重要技术。从等离子体的基本概念与性质、低温等离子体的产生方法和等离子体中的基本化学过程,到低温等离子体的探针诊断技术及其应用、光谱诊断技术及其应用、质谱诊断技术及其应用、离子能量诊断技术及其应用、波干涉诊断技术、等离子体阻抗分析技术及其应用,介绍了低温等离子体诊断的基础知识,总结了该领域近年来的一些新进展,提供了低温等离子体诊断应用的实例。
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