文献类型:专著 浏览次数:117
  • 题名:真空镀膜技术与应用
  • 责任者:陆峰编著
  • 出版社化学工业出版社
  • 出版年:2022.03
  • ISBN:978-7-122-40245-5
  • 定价:138.00
  • 载体形态项:335页 26cm
  • 个人责任者:陆峰编著
  • 学科主题:真空技术
  • 中图法分类号:TN305.8
  • 提要文摘附注:本书共9章,主要阐述了真空镀膜技术应用,具体介绍了近代真空镀膜方法。内容包括真空蒸发镀膜,真空溅射镀膜,真空离子镀膜,离子束(辅助)沉积,化学气相沉积的原理、特点、装置及应用;还对所制备薄膜的测量技术、性能分析方法做了详细的介绍。
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