文献类型:专著 浏览次数:114
  • 题名:MEMS技术前沿与应用发展
  • 责任者:尤政,赵嘉昊编著
  • 出版社国防工业出版社
  • 出版年:2019.10
  • ISBN:978-7-118-11947-3
  • 定价:188.00
  • 载体形态项:XIV,348页 24cm
  • 个人责任者:尤政编著、赵嘉昊编著
  • 学科主题:微电机
  • 中图法分类号:TM38
  • 提要文摘附注:本书首先从MEMS的概念内容、发展历史、优势特点、应用领域等方面概述了MEMS技术,然后从共性技术、典型应用等角度重点介绍了各类MEMS技术的国内外进展,国内外MEMS应用研究的实例,MEMS应用现状及发展趋势。
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