文献类型:专著 浏览次数:101
  • 题名:半导体材料.3版
  • 责任者:杨树人, 王宗昌, 王兢编著
  • 出版社科学出版社
  • 出版年:2013.02
  • ISBN:978-7-03-036503-3
  • 定价:49.80
  • 载体形态项:240页 26cm
  • 个人责任者:杨树人编著、王宗昌编著、王兢编著
  • 学科主题:半导体材料
  • 中图法分类号:TN304
  • 提要文摘附注:本书介绍了主要半导体材料硅、砷化镓等制备的基本原理和工艺,以及特性的控制等,包括硅和锗的化学制备、区熔提纯、晶体生长、硅外延生长、低维结构半导体材料、氧化物半导体材料、照明半导体材料等内容。
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