文献类型:专著 浏览次数:71
  • 题名:飞秒激光共振吸收微纳制造机理与实验研究
  • 责任者:赵新宇著
  • 出版社湖南科学技术出版社
  • 出版年:2022.01
  • ISBN:978-7-5710-1019-5
  • 定价:98.00
  • 载体形态项:157页 24cm
  • 个人责任者:赵新宇著
  • 学科主题:微电子技术
  • 中图法分类号:TG665
  • 提要文摘附注:本书主要针对一种基于入射激光光子能量与被加工靶材电子跃迁能级差相等或相近时能够有效提高飞秒激光精密加工效率的共振吸收效应制造方法,进行了机理上的电子动力学仿真和烧蚀效率实验,以阐明共振吸收制造的微观机理,同时探究该方法在实际工程应用中的影响因素和加工规律。
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