| 000 |
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01228nam0 2200301 450 |
| 001 |
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004215937 |
| 005 |
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00000000000000.0 |
| 010 |
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■a978-7-118-12322-7■b精装■dCNY119.00 |
| 100 |
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■a20211210d2021 em y0chiy50 ea |
| 101 |
1_ |
■achi■ceng |
| 102 |
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■aCN■b110000 |
| 105 |
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■aa z 000yy |
| 106 |
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■ar |
| 200 |
1_ |
■a纳米加工技术与原理■b专著■dNanofabrication techniques and principles■f+...... |
| 210 |
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■a北京■c国防工业出版社■d2021.07 |
| 215 |
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■a12,318,10页■c图，照片■d24cm |
| 300 |
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■a装备科技译著出版基金 |
| 305 |
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■a由Springer授权独家出版 |
| 330 |
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■a本书内容包括：纳米加工研究方向简介、电子束曝光与显影的基本原理、电子束曝光与抗蚀剂工艺的模拟仿真、氦离子光刻的原理及+...... |
| 333 |
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■a电子、材料以及物理领域研究人员 |
| 510 |
1_ |
■aNanofabrication techniques and principles■zeng |
| 606 |
0_ |
■a纳米材料■x加工 |
| 690 |
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■aTB383■v5 |
| 701 |
_0 |
■a斯捷潘诺娃■c(加拿大)■c(Stepanova, Maria)■4编■9si jie pan nuo wa |
| 701 |
_0 |
■a德夫■c(加拿大)■c(Dew, Steven)■4编■9de fu |
| 702 |
_0 |
■a段辉高■4译■9duan hui gao |
| 801 |
_0 |
■aCN■b南昌职业大学图书馆■c20221008 |
| 905 |
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■a南昌职业大学图书馆■dTB383/45 |
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