文献类型:专著 浏览次数:29
  • 题名:半导体工程导论
  • 责任者:(美)杰西·鲁兹洛(Jerzy Ruzyllo)著
  • 出版社机械工业出版社
  • 出版年:2022.01
  • ISBN:978-7-111-69428-1
  • 定价:79.00
  • 载体形态项:168页 24cm
  • 个人责任者:鲁兹洛著、黄其煜译、陈博译
  • 学科主题:半导体
  • 中图法分类号:O47
  • 提要文摘附注:本书第1章概述了半导体区别于其他固体的基本物理特性。第2章回顾了半导体材料,包括无机、化合物、有机半导体材料。同时,第2章也介绍了有代表性的绝缘体和导体的材料。而这些器件和电路是在第3章概述的。第4章是关于半导体工艺的基础知识,并且用通俗的语言讨论了半导体制造中使用的方法、设备、工具和介质。第5章讨论了主流半导体制造工艺中涉及的各单步工艺。第6章简要概述了半导体材料和工艺表征的基本原理。
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