文献类型:专著 浏览次数:24
  • 题名:高温SiC MEMS传感器的热电特性
  • 责任者:(澳)丁东安(Toam Dinh),(澳)阮南中(Nam-Trung Nguyen),(澳)陶宗越(Dzung Viet Dao)著
  • 出版社科学出版社
  • 出版年:2022.06
  • ISBN:978-7-03-072489-2
  • 定价:88.00
  • 载体形态项:10,133页 24cm
  • 个人责任者:丁东安著、阮南中著、陶宗越著、王兴华译
  • 学科主题:碳化硅热敏电阻器
  • 中图法分类号:TM54 TH-39
  • 提要文摘附注:本书主要介绍了碳化硅(SiC)传感器在高温下热电特性的研究进展。本书可分为三部分,共七章。第一部分从单层SiC和多层SiC的热阻效应、热电效应、热电子效应和热容效应等物理效应方面来介绍SiC的热电特性;第二部分介绍了SiC的诸多重要特征以及SiC MEMS的制造流程,总结了SiC传感器、热流传感器和对流惯性传感器的最新进展;第三部分论述了SiC热电传感器的应用前景。
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