文献类型:专著 浏览次数:24
  • 题名:新型微机电系统与器件
  • 责任者:马宗敏主编
  • 出版社西安电子科技大学出版社
  • 出版年:2022.10
  • ISBN:978-7-5606-6530-6
  • 定价:49.00
  • 载体形态项:312页 26cm
  • 个人责任者:马宗敏主编
  • 学科主题:微机电系统
  • 中图法分类号:TH-39
  • 提要文摘附注:本书力图从几类最新的传感器入手介绍新型微机电器件及系统,全书共分七章,主要内容包括:近年来微机电系统的发展,MEMS惯性器件及系统的原理、工艺、最新发展,回音壁模式微腔器件及系统,典型水声传感器件及系统,典型高温压力传感器件及系统,最新的量子传感器件及系统,柔性传感器件及系统。
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