文献类型:专著 浏览次数:26
  • 题名:微机电系统设计及应用探究
  • 责任者:吴倩楠著
  • 出版社吉林科学技术出版社
  • 出版年:2021.05
  • ISBN:978-7-5578-8047-7
  • 定价:86.00
  • 载体形态项:177页 24cm
  • 个人责任者:吴倩楠著
  • 学科主题:微电机
  • 中图法分类号:TM380.2
  • 提要文摘附注:本书共5章,内容包括:微机电系统概述、微机电系统的设计方法学、微细加工技术、微机电系统检测技术、微机电系统的应用。
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