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■a微系统设计与制造■dMicrosystem design and fabrication■f王喆垚编著■zeng■9+...... |
| 205 |
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■a2版 |
| 210 |
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■a北京■c清华大学出版社■d2015.10■h2023.01 |
| 215 |
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■a10, 742页■c图■d26cm |
| 225 |
2_ |
■a信息、控制与系统技术丛书■Axin xi kong zhi yu xi tong ji shu cong shu |
| 330 |
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■a本书结合微系统（MEMS）技术的基础理论、典型器件和发展趋势，介绍微系统的力学、电学和物理学基本理论，针对典型器件的+...... |
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■12001 ■a信息、控制与系统技术丛书 |
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1_ |
■aMicrosystem design and fabrication■zeng |
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■a微电子技术■x设计■Awei dian zi ji shu |
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■a微电子技术■x制造■Awei dian zi ji shu |
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■aTN4■v5 |
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■a王喆垚■4编著■9wang zhe yao |
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■aCN■b南昌职业大学图书馆■c20240617 |
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■a南昌职业大学图书馆■dTN4/24:2 |
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