MEMS/NEMS谐振器技术

题名:MEMS/NEMS谐振器技术
责任者:张文明，胡开明著
出版社科学出版社
出版年:2023.08
ISBN:978-7-03-075719-7
定价:298.00
载体形态项:475页 24cm
个人责任者:张文明著、胡开明著
学科主题:微机电系统
中图法分类号:TN629.1
提要文摘附注:本书主要介绍微/纳机电系统(MEMS/NEMS)谐振器动力学设计理论、分析方法及应用技术。全书共9章，主要包括：介绍MEMS/NEMS技术基础和谐振器技术的发展历程与趋势；阐述EMS/NEMS谐振器的工作原理、谐振结构设计理论及分析技术；介绍谐振器件制备涉及的材料、微纳加工工艺及技术；论述NEMS/NEMS谐振器中存在的丰富非线性现象、复杂动力学行为；介绍微纳尺度下的能量耗散理论、阻尼特性与作用机制及测试方法；详细介绍谐振器件中应用的各种振动激励与检测原理及技术；阐述通道式谐振器检测原理、动力学设计与分析技术；论述微纳尺度下谐振器件的模态弱耦合作用机制、谐振器设计及传感技术；介绍MEMS/NEMS谐振器中存在的典型失效模式与失效机理，并论述多种可靠性评估方法及测试技术。
统一资源定位(URL):

字段	指示符	值
000		01523nam0 2200253 450
001		012023179368
005		20231008093500.0
010	__	■a978-7-03-075719-7■b精装■dCNY298.00
100	__	■a20231007d2023 em y0chiy50 ea
101	0_	■achi
102	__	■aCN■b110000
105	__	■aa z 000yy
106	__	■ar
200	1_	■aMEMS/NEMS谐振器技术■b专著■f张文明，胡开明著■9MEMS/NEMS xie zhen qi ji shu
210	__	■a北京■c科学出版社■d2023.08
215	__	■a475页■c图■d24cm
330	__	■a本书主要介绍微/纳机电系统(MEMS/NEMS)谐振器动力学设计理论、分析方法及应用技术。全书共9章，主要包括：介绍+......
333	__	■a本书可供微电子学、机械工程、信息通信、航空航天、生物医学、凝聚态物理、环境能源、军事国防等领域从事MEMS/NEMS+......
606	0_	■a微机电系统■x谐振器
690	__	■aTN629.1■v5
701	_0	■a张文明■4著■9zhang wen ming
701	_0	■a胡开明■4著■9hu kai ming
801	_0	■aCN■b南昌职业大学图书馆■c20240702
905		■a南昌职业大学图书馆■dTN629.1/2

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