文献类型:专著 浏览次数:8
  • 题名:折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用
  • 责任者:张新宇,谢长生著
  • 出版社国防工业出版社
  • 出版年:2021.10
  • ISBN:978-7-118-12284-8
  • 定价:169.00
  • 载体形态项:211页 24cm
  • 个人责任者:张新宇著、谢长生著
  • 学科主题:刻蚀
  • 中图法分类号:TN405.98
  • 提要文摘附注:本书主要内容包括:折射和衍射微光学变换,准连续相位分布的衍射微光学结构,适用于毫米级近场的衍射微光学结构,可见光、红外线以及多谱光学强度图像,复杂波前基础理论;衍射微光学结构的设计与仿真,单步光刻和两步法KOH湿法蚀刻,微光学图像,波前结构的设计与工艺、测试与评估等;宽频激光对抗条件下的非相干成像探测,强度图像与复杂波前出射的基本方法;激光图像发射、静态或动态图像与波前仿真环境构建,图像隐身、基于频谱空间分离的成像探测对抗等。
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