文献类型:专著 浏览次数:7
  • 题名:图解芯片制造技术
  • 责任者:吴元庆, 刘春梅, 王洋编著
  • 出版社化学工业出版社
  • 出版年:2023.11
  • ISBN:978-7-122-43803-4
  • 定价:69.80
  • 载体形态项:213页 21cm
  • 个人责任者:吴元庆编著、刘春梅编著、王洋编著
  • 学科主题:芯片
  • 中图法分类号:TN430.5
  • 提要文摘附注:芯片是近年来备受关注的高科技产品,在电子、航空航天、机械、船舶、仪表等领域发挥着不可替代的作用。本书围绕芯片制造技术展开,从单晶硅晶体的拉制讲起,介绍了多种硅晶体的沉积和拉制、切割技术,着重介绍了光刻技术和光刻设备,并简要介绍了集成电路封装技术。
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