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■a半导体芯片和制造■e理论和工艺实用指南■f(美)廉亚光著■g师静译■9ban dao ti xin pian he +...... |
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■a北京■c机械工业出版社■d2023.10 |
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■a213页■c图,照片■d24cm |
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■a集成电路科学与工程丛书■9ji cheng dian lu ke xue yu gong cheng cong sh+...... |
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■aWiley授权出版 |
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■a封面英文题名:Semiconductor microchips and fabrication: a practic+...... |
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■a本书包括如下主题：基本概念，例如等离子设备中的阻抗失配和理论，以及能带和Clausius-Clapeyron方程;半+...... |
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■a芯片■x半导体工艺 |
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■a廉亚光■c(美)■4著■9lian ya guang |
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