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■a978-7-111-72041-6■dCNY99.00 |
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■a20201004d2023 em y0chiy50 ea |
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■achi |
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■aCN■b110000 |
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| 106 |
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■ar |
| 200 |
1_ |
■a一本书读懂芯片制程设备■f王超[等]编著■9yi ben shu du dong xin pian zhi chen+...... |
| 210 |
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■a北京■c机械工业出版社■d2023.09 |
| 215 |
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■a254页■c图, 照片■d24cm |
| 225 |
2_ |
■a集成电路科学与技术丛书■9ji cheng dian lu ke xue yu ji shu cong shu |
| 300 |
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■a机工通信 |
| 304 |
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■a编著者还有：姜晶、牛夷、王刚 |
| 330 |
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■a本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备，并分析了芯片制程设备的国内外市场环境；然后，针对具体工艺技术涉及的设备，综述+...... |
| 461 |
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■12001 ■a集成电路科学与技术丛书 |
| 606 |
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■a芯片■x工业生产设备 |
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■aTN430.50■v5 |
| 701 |
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■a王超■4编著■9wang chao |
| 801 |
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■aCN■b南昌职业大学图书馆■c20241009 |
| 905 |
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■a南昌职业大学图书馆■dTN430.50/1 |
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