文献类型:专著 浏览次数:1
  • 题名:高压厚膜SOI-LIGBT器件关键技术
  • 责任者:张龙, 孙伟锋, 刘斯扬等著
  • 出版社人民邮电出版社
  • 出版年:2023.07
  • ISBN:978-7-115-58481-6
  • 定价:149.00
  • 载体形态项:201页 24cm
  • 个人责任者:张龙著、孙伟锋著、刘斯扬著
  • 学科主题:厚膜
  • 中图法分类号:TN389
  • 提要文摘附注:本书共7章:首先介绍了高压厚膜SOI-LIGBT器件的工作原理,分析了器件的耐压、导通、关断原理;然后围绕高压厚膜SOI-LIGBT器件的关键技术,研究了高压互连线屏蔽技术、电流密度提升技术和快速关断技术三大类技术,分析了U型沟道电流密度提升技术、双沟槽互连线屏蔽技术、复合集电极快速关断技术等9种技术;围绕高压厚膜SOI-LIGBT器件的鲁棒性,研究了关断失效、短路失效、开启电流过冲、低温特性漂移;最后探讨了高压厚膜SOI-LIGBT器件的工艺和版图。
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