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■a等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用■f张海洋等编著■9deng li zi ti shi ke ji qi+...... |
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■a2版 |
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■a北京■c清华大学出版社■d2023.01 |
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■a423页■c照片, 图■d26cm |
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■a高端集成电路制造工艺丛书■9gao duan ji cheng dian lu zhi zao gong yi co+...... |
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■a“十三五”国家重点图书出版规划项目 |
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■a本书以低温等离子体蚀刻技术发展史开篇，随后是逻辑和存储器产品中等离子体蚀刻工艺的解读。此外，还详述了逻辑产品可靠性及+...... |
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■aPlasma etching and its application in large scale integrat+...... |
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■a张海洋■4编著■9zhang hai yang |
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■aCN■b南昌职业大学图书馆■c20241009 |
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