文献类型:专著 浏览次数:10
  • 题名:真空镀膜技术与应用
  • 责任者:田灿鑫主编
  • 出版社武汉理工大学出版社
  • 出版年:2024.05
  • ISBN:978-7-5629-6979-2
  • 定价:98.00
  • 载体形态项:234页 24cm
  • 个人责任者:田灿鑫主编
  • 学科主题:真空技术
  • 中图法分类号:TN305.8
  • 提要文摘附注:本书内容涵盖了真空镀膜的关键技术和实际应用。在介绍真空镀膜技术基础理论及应用的基础上,着重阐述了真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、等离子体增强化学气相沉积的原理、工艺、应用等,紧接着介绍了薄膜厚度的测量、薄膜分析检测技术等方面的内容,最后详细阐述了工模具真空镀膜生产线的具体工艺流程。本书叙述深入浅出,内容丰富而精炼,工程实践性强,在强化理论的同时,重点突出了工程应用,具有很强的实用性。
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