文献类型:专著 浏览次数:3
  • 题名:3D IC集成和封装.影印版
  • 责任者:(美)刘汉诚(John H. Lau)著
  • 出版社清华大学出版社
  • 出版年:2022.04
  • ISBN:978-7-302-60065-7
  • 定价:129.00
  • 载体形态项:14,458页 26cm
  • 个人责任者:刘汉诚著
  • 学科主题:集成电路工艺
  • 中图法分类号:TN405
  • 提要文摘附注:本书全面讲解3D集成技术的近期进展和发展趋势,重点讨论3D集成技术的关键技术、主要工艺问题和可行解决方案。
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