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■a集成电路先进工艺制造■f陆卫, 宋艳汝主编■9ji cheng dian lu xian jin gong yi z+...... |
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■a陆卫，上海科技大学教授，上海科技大学物质科学与技术学院执行院长、中国空间科学学会副理事长。宋艳汝，上海科技大学材料器+...... |
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■a有书目 (第427-429页) 和索引 |
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■a本书从集成电路制造的工艺、设备、厂务3个关键内容出发，融合了集成电路制造的理论基础和前沿实践技术，深入浅出地探讨了集+...... |
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