文献类型:专著 浏览次数:4
  • 题名:三维芯片集成与封装技术
  • 责任者:(美)刘汉诚(John H. Lau)著
  • 出版社机械工业出版社
  • 出版年:2024.05
  • ISBN:978-7-111-71973-1
  • 定价:189.00
  • 载体形态项:15, 445页 24cm
  • 个人责任者:刘汉诚著、杨兵译
  • 学科主题:集成芯片
  • 中图法分类号:TN430.5
  • 提要文摘附注:本书通过介绍半导体产业中IC按照摩尔定律的发展以及演变的历史,阐述3D集成和封装的优势和挑战,结合当前3D集成关键技术的发展重点讨论TSV制程与模型、晶圆减薄与薄晶圆在封装组装过程中的拿持晶圆键合技术、3D堆叠的微凸点制造与组装技术、3DSi集成、2.5D/3DIC集成和采用无源转接板的3DIC集成、2.5D/3DIC集成的热管理技术、封装基板技术,以及存储器、LED、MEMS、CIS3DIC集成等关键技术问题,最后讨论3DIC封装技术。
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