文献类型:专著 浏览次数:2
  • 题名:集成电路制造工艺
  • 责任者:孙萍主编
  • 出版社电子工业出版社
  • 出版年:2014.09
  • ISBN:978-7-121-22899-5
  • 定价:46.00
  • 载体形态项:11, 280页 26cm
  • 个人责任者:孙萍主编
  • 学科主题:集成电路工艺
  • 中图法分类号:TN405
  • 提要文摘附注:本书从集成电路的制造工艺流程出发,系统介绍继承电路制造工艺的原理、工艺技术和操作方法等。全书共分4个模块11章,内容包括:集成电路制造工艺的发展与工艺流程、薄膜制备等。
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