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■ar |
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■aMEMS技术及应用■dTechnologies and applications of MEMS■f蒋庄德等著■ze+...... |
| 210 |
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■a北京■c高等教育出版社■d2018.11■h2024.11 |
| 215 |
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■a318页■c图■d26cm |
| 225 |
2_ |
■a先进制造科学与技术丛书■9xian jin zhi zao ke xue yu ji shu cong shu |
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■a高等学校教材机械工程前沿著作系列 |
| 314 |
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■a蒋庄德，男，中国工程院院士，西安交通大学教授，英国伯明翰大学博士、名誉教授，澳大利亚新南威尔士大学客座教授;教育部科+...... |
| 320 |
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■a有书目 |
| 330 |
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■a本书讨论的主题是微机电系统(MEMS)这一前沿的交叉学科。作者通过对MEMS技术的主要方面：结构、材料、工艺、设计、+...... |
| 461 |
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■12001 ■a先进制造科学与技术丛书 |
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■aTechnologies and applications of MEMS■zeng |
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■a微电机■j教材■x高等学校 |
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■aTM38■v5 |
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■a蒋庄德■4著■9jiang zhuang de |
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■a南昌职业大学图书馆■dTM38/7 |
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