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■a普通高等教育“十五”国家级规划教材21世纪微电子学专业规划教材 |
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■a本书讲述了硅集成电路制造的基础工艺，重点放在工艺物理基础和基本原理上。全书共十一章，第一章简单地讲述了硅的晶体结构和+...... |
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