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■a集成电路制造工艺与工程应用■f温德通编著■9ji cheng dian lu zhi zao gong yi yu +...... |
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■a北京■c机械工业出版社■d2024.11 |
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■a本书以实际应用为出发点，抓住目前半导体工艺的工艺技术逐一进行介绍，例如应变硅技术、HKMG技术、SOI技术和FinF+...... |
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