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■a微纳集成电路工艺技术■b专著■f戴显英主编■9wei na ji cheng dian lu gong yi ji +...... |
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■a西安■c西安电子科技大学出版社■d2025.09 |
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■a216页■c图■d26cm |
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■a高等学校微电子与集成电路研究生系列教材 |
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■a本书共10章。第1章介绍集成电路制造的器件与工艺仿真基础，第2章至第7章介绍集成电路制造的薄膜制备、离子注入、光刻、+...... |
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■a戴显英■4主编■9dai xian ying |
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