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■a978-7-111-79813-2■dCNY79.00 |
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■ar |
| 200 |
1_ |
■a芯片制造■b专著■e半导体真空技术与设备■f陈译，陈铖颖，张宏怡编著■9xin pian zhi zao |
| 210 |
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■a北京■c机械工业出版社■d2026.01 |
| 215 |
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■a173页■c图■d24cm |
| 225 |
1_ |
■a半导体与集成电路关键技术丛书 |
| 300 |
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■a“十四五”时期国家重点出版物出版专项规划项目 |
| 330 |
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■a真空技术是支撑各行业的基础技术之一，其应用范围非常广泛，从食品工业到航天工业均受益于此，半导体产业也是如此。真空技术+...... |
| 333 |
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■a芯片半导体工艺相关研究人员 |
| 517 |
1_ |
■a半导体真空技术与设备■9ban dao ti zhen kong ji shu yu she bei |
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■a芯片■x半导体工艺 |
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■aTN430.5■v5 |
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■a陈译■4编著■9chen yi |
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■a陈铖颖■4编著■9chen cheng ying |
| 701 |
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■a张宏怡■4编著■9zhang hong yi |
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■aCN■b南昌职业大学图书馆■c20260525 |
| 905 |
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■a南昌职业大学图书馆■dTN430.5/16 |
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