文献类型:专著 浏览次数:4
  • 题名:压电薄膜体声波谐振器及滤波器设计
  • 责任者:吴秀山著
  • 出版社化学工业出版社
  • 出版年:2025.03
  • ISBN:978-7-122-47463-6
  • 定价:78.00
  • 载体形态项:168页 24cm
  • 个人责任者:吴秀山著
  • 学科主题:压电薄膜
  • 中图法分类号:TN629.1 TN713
  • 提要文摘附注:本书主要讲述压电薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonators,FBAR)的工作原理,推导FBAR的电学阻抗表达式,由此构建其Mason模型,对其底电极、顶电极、压电层的结构参数,以及有效谐振面积对器件谐振频率的影响进行模拟仿真与验证,并针对FBAR的温度漂移提出有效的温度补偿措施。
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